X 線回折スペクトルは主に材料の結晶状態と微細構造を分析します。 X線は結晶の格子定数に似ており、結晶材料に照射され、分析によって生成された回折パターンから原子構造と結晶タイプを決定できます。X 線回折測定には 2 つの方法があります。結晶分析。
1.X線回折スペクトル法、X線回折装置基本的な構造は、X 線源、ゴニオメーター、検出器の 3 つの部分で構成されます。
通常、X 線源は、電子ビームを使用して銅のターゲットに衝突させることによって生成されます。Ka特性X線を単一の周波数セレクターで測定します。銅-カックス の光波長は 1.542A であり、X線回折スペクトラム。右図に示すような単結晶回折パターンを取得します。製品面方位(400)は、粉末結晶回折標準図と比較した回折頂角から求めます。山部の強度が強く、半値幅が狭いほど製品特性に優れます。
2. X線裏面反射ラウエ法
X線反射ラウエ法とは、X線反射ラウエ法を用いて得られるスペクトルです。X線照射 結晶の。固定されたシリコン枚葉ウェーハにX線を照射すると、左図に示すようにブラッグの法則に従ってある角度で回折現象が生じ、(100)単結晶反射ラウエの回折パターンが下図に示されます。右。この方法は、単結晶の結晶方向を識別するために使用できます。
