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結晶の加工と検出における X 線配向装置の応用

2024-01-23

結晶方位の決定は、一般に結晶方位として知られる、目に見えない微視的な結晶軸と結晶内の巨視的な基準データの相対的な方位を決定することです。結晶には異方性があるため、結晶方位の応用例が多く、半導体デバイスの製造では水晶振動子などの水晶部品を必要に応じて一定の方向にカットする必要があります。の結晶方位結晶方位を高速かつ正確に決定するために使用される装置です。


結晶加工における配向装置の応用:

1. 完成した水晶ロッドの検査:

完成したクリスタルロッドの検査は加工プロセスにおける重要なリンクであり、完成したクリスタルロッドの検査にはインデックスを提供する必要があります。

crystal orientation  X-ray Orientation Analyzer

                                                        X線方位測定装置


2. さらに測定を行います。

その目的は、チップの各点の角度変化を確認し、角度変化を通じてチップ内に存在する応力、粒界、結晶表面の曲がりなどの問題を間接的にフィードバックすることです。

crystal orientation

3. 端面研削

水晶ロッドの端面研磨は次工程の加工のためのものです。

X-ray Orientation Analyzer


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