X線方位分析装置

X 線配向分析装置の紹介: 

自動X線配向装置は、X線回折の原理を利用して、天然および人工の単結晶（圧電結晶、光学結晶、レーザー結晶、半導体結晶）の切断角度を正確かつ迅速に決定します。上記結晶の方向性切断に使用できる切断機と組み合わせます。自動X線定位装置水晶デバイスの精密加工・製造には欠かせない装置です。自動X線定位装置結晶材料の研究、加工、製造に広く使用されています。

X線配向分析装置の利点:

X線配向分析装置TAサンプルテーブル:

丸棒結晶に基づいて設計されたサンプルステージには、1 ～ 30 kg、直径 2 ～ 6 インチ (8 インチまで増加可能) を測定できる耐荷重トラックとサンプルステージ上の真空吸引装置が付いています。 。このタイプのゴニオメータは、棒状結晶の基準面を測定し、またウェハの表面も測定します。

X 線配向分析装置 結核 サンプル テーブル: 

丸棒結晶に従って設計されたサンプルステージには耐荷重トラックが装備されており、V 字型のサポートレールが装備されています。重さ1～30kg、直径2～6インチ（8インチまで拡大可能）、長さ500mmのインゴットを測定できます。試料ステージには真空吸着装置が取り付けられています。このタイプのゴニオメータはロッド結晶の端面を測定し、またウェーハの表面も測定します。

X線配向分析装置TCサンプルテーブル:

主にシリコンやサファイアなどの枚葉ウェーハの外周円形基準面の検出に使用されます。吸盤上のX線受光位置はオープン設計を採用し、吸盤によるX線遮蔽や位置ずれの問題を克服し、様々な仕様を満足させます。基準エッジ検出を使用すると、サンプルステージの吸引ポンプが 2 ～ 8 インチのウェーハを吸引することができ、検出がより正確になります。

X線配向分析装置TDサンプルテーブル:

主にシリコンやサファイアなどのウェーハの多点測定に使用されます。顧客の特​​殊な測定ニーズに合わせて、0°、90°、180°、270°などのサンプルステージ上でウェーハを手動で回転させることができます。

通達海峡

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