多くの特性評価デバイスの原理は、電子を検出する必要のある物質と相互作用させ、二次電子を励起し、または原子レベルの遷移やバックトリップを行い、特性エネルギーを放出することです。電子と物質の間の相互作用を理解することは、さまざまな現象を根本的に理解するのに役立ちます。特性評価機器そしてその応用シナリオを理解すること。

電子ビームが物質に当たると、次のプロセスが発生する可能性があります。

1. 外側の電子との相互作用により基底状態の電子が遷移し、電子が戻ってくるときに可視光または紫外光を放射します。

2. 価電子帯または伝導帯の電子との相互作用により、外側の電子がイオン化して二次電子が生成されます。二次電子のエネルギーは低く、一般に 50 eV 未満です。元素の種類に関係なく、5 ～ 10 nm の表面範囲にのみ関与します。

3. 入射電子は原子と相互作用し、エネルギーが減少し、失われたエネルギーが連続的な形で放出されます。X線、その後電子自体が逃げます。これは後方散乱電子と呼ばれます。後方散乱電気は原子番号に関係しており、原子番号が大きいほど後方散乱電子の数が多くなり、その数は元素の種類によって決まります。これが電子エネルギー損失スペクトルの原理です。

4.. 電子の透過：物質を通過し、電圧は原子番号に比例し、厚さは反比例し、浸透深さが大きすぎないため、約1ミクロンのサンプルの測定に使用できます。

5.入射電子は原子の内層にも入り、内部の電子を二次電子に放出して、内層に空孔ができ、外側の電子がその空孔を埋め、余分なエネルギーが逃げます。でX線または、オージェ電子と呼ばれる外側の電子を再生します。&注意;