HRXRD は強力です非破壊検査単結晶材料、単結晶エピタキシャル薄膜材料、各種低次元半導体ヘテロ構造を主な研究対象としています。単結晶の品質、厚さ、セルパラメータ、およびエピタキシャル膜のその他の構造パラメータの測定に広く使用されています。
2θ/オメガ走査は、表面に平行な原子層のコヒーレント散乱を検出するために使用され、Inの組成、面外セルパラメータ、厚さおよびその他のパラメータを決定するために使用できます。
GaN (0002) の 2θ/オメガ走査パターン結晶顔
明らかな超格子スイングピークと超格子ピーク間の薄膜干渉縞。
RSM は、薄膜と基板間の不一致および薄膜の欠陥を分析するための直感的な方法です。モダンな人事部XRD1D 検出器を使用するとテスト速度が大幅に向上し、RSM の迅速な取得には数十秒しかかかりません。
画像は、2θ/オメガ スキャンの全スペクトル フィッティングの結果です。フィッティング マップがテスト データとよく一致していることがわかります。で の含有量は成長プロセスにおける重要なパラメーターです。したがって、HRXRD は堆積プロセスを監視するための強力なツールです。
