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小角 X 線散乱は、元のビームに近い小角度範囲における X 線に対する電子の拡散散乱です。小角散乱は、ナノメートルスケールで電子密度が不均一なすべての材料で発生します。

小角 X 線回折 (SAXD) は、主に非常に大きな結晶面の間隔や薄膜の構造を決定するために使用されます。

小角 X 線散乱 (サックス) は、サンプルを通過する X 線によって生成される散乱信号を収集し、1 ～ 100 nm の範囲のサンプルの構造情報を研究する技術です。

X線回折装置は、X線と物質の相互作用の原理を利用し、物質中のX線の回折角や強度を測定することにより、物質の結晶構造や格子定数などの情報を得る装置です。