平行ビームでX線回折分析では、マルチキャピラリーコリメート光学結晶を使用して高強度の平行 X 線励起ビームを形成することができ、その結果、サンプル表面上で非常に高い X 線強度が得られます。X線回折の定義は次のとおりです。

平行ビーム形状の場合、サンプルの位置は変化する可能性があり、XRD システムは、X 線源とサンプルの間の距離をサンプルと検出器の間の距離と等しくすることによって制限されなくなります。形状の柔軟性は既存の製造条件に適応させることができ、より広範囲のサンプルの形状やサイズに使用できます。平行ビームXRDサンプルの変位に関連する誤差の影響を受けにくいだけではありません。事実上、その他のよく知られた器差関数もすべて排除されています。

平行ビームXRDを用いたX線光学結晶は、薄膜の分析やサンプルのテクスチャ評価にうまく応用されています。