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多機能サンプルステージは、複数の機能モジュールを統合した実験または試験プラットフォームであり、さまざまな種類のサンプル（材料、生物サンプル、電子部品など）の搬送、操作、試験に使用されます。通常、柔軟な構成と拡張性を備えており、さまざまな実験ニーズに対応できるため、科学研究、産業試験、医療などの分野で広く使用されています。 1. 多機能サンプルステージのコア機能と特徴 （１）多機能試料ステージの多次元調整 モーションコントロール: X/Y/Z 軸の移動、回転、傾斜などの精密な動きをサポートし、自動スキャンや手動による微調整に対応しています。 環境シミュレーション：温度制御（-196℃～数千度）、湿度制御、真空/大気環境（不活性ガス、腐食性ガスなど）などのモジュールを統合できます。 力/電気/磁気負荷: 一部のモデルでは、機械的な力、電流、磁場などの適用をサポートしており、極端な条件下でのサンプルのパフォーマンスを研究するために使用されます。 （２）多機能サンプルスタンドの互換性と拡張性 複数の分析機器に適応 モジュール設計により、ユーザーは加熱ステーション、冷却ステーション、輸液システムなど、ニーズに応じて機能を追加できます。 （３）高精度・高安定性の多機能試料ステージ ナノレベルの変位精度、防振設計、現場観察や長期実験に適しています。 一部のモデルでは、で-現場 特性評価 (伸張、圧縮、加熱プロセス中のサンプルの変化のリアルタイム観察など) がサポートされています。 （4）多機能サンプルスタンドの自動化とインテリジェンス化 自動テストは、ソフトウェアを通じて動作軌跡と環境パラメータを制御することで実現されます。 統合センサーとデータ収集システム、サンプル反応（変形、抵抗変化など）をリアルタイムで記録します。 2. 多機能サンプルテーブルの典型的な応用シナリオ： （１）多機能試料スタンドの材料科学 高温/低温、ストレス、腐食環境における材料の性能を研究します。 材料の変形、相転移、または結晶化プロセスの SEM/透過型電子顕微鏡 によるその場観察。 （２）バイオメディカル多機能試料ステージ 細胞培養や薬物浸透実験には、温度制御、湿度制御、ガス環境が必要です。 顕微鏡画像と連携して生体サンプルの動的な変化を観察します。 （3）多機能サンプルスタンド用電子機器・半導体 チップ テスト: プローブの位置決め、熱衝撃、電気性能テストなどの機能を提供します。 フォトリソグラフィーまたはコーティングプロセスにおけるサンプルの配置と処理。 （4）多機能試料スタンドにおける化学・エネルギー研究 触媒反応（照明および加熱条件下での表面反応など）の現場モニタリング。 バッテリー電極テスト（充電および放電プロセス中の膨張/収縮のシミュレーション）。
多機能サンプルステージは、主に材料科学、半導体製造、電子顕微鏡分析などの分野で使用される高度に統合された実験装置です。その主な特徴は、モジュール設計、多機能統合、高精度制御です。 一、多機能試料ステージのコア機能と構造特性 1. 多機能サンプルステージのモジュール設計： 自己回転カップリングモジュール（速度 0 ～ 20 回転 / 分、ゼロ制限付き）、リフティングモジュール（標準ストローク 50 んん / 100 んん、カスタマイズ可能）、ヒーターモジュール（最高温度 1100 ℃ まで）などのさまざまなモジュールの組み合わせにより、複数の機能が実現されます。 薄膜成長、サンプル洗浄、補助膜形成などのニーズを満たすために、DC/高周波 電源接続をサポートします。 2. 多機能サンプルステージのための高精度制御とセンサー： 温度、圧力などのセンサーを備え、サンプルの環境パラメータをリアルタイムで監視し、制御システムを通じて加熱、冷却などの操作を調整します。 一部のモデルには、操作を容易にするための空気圧バッフル モジュールが組み込まれています。 3. 多機能サンプルステージの互換性と適応性： 従来の切断や研磨による損傷を回避しながら、微量粉末、シート材料、大型サンプルなどの不規則なサンプルのテストに適します。 6 インチ未満のサンプル サイズとカスタマイズ可能なフランジ インターフェイスをサポートします。 二、多機能サンプルスタンドの応用分野 1. 多機能サンプルステージ用薄膜技術：MBE（分子線エピタキシー）、PLD（パルスレーザー蒸着）、マグネトロンスパッタリングなどの高度な薄膜成長技術、および基板アニール、高温脱ガスなどのプロセスに使用されます。 2. 多機能試料ステージの電子顕微鏡分析： 冷視野走査型電子顕微鏡: 長いネジでサンプルを固定し、互換性のある真鍮ワッシャーで導電率を調整します。 透過型電子顕微鏡/FIB システム: インサイチュー剥離、ナノプローブ テスト、透過型電子顕微鏡 分析を統合し、サンプルの転送による汚染や損傷を回避します。 3. 多機能サンプルステージの故障解析：FIB および 透過型電子顕微鏡 システムに原子サイト剥離、電気テスト、および解析プロセスを統合して、成功率と効率を向上します。 三、多機能サンプルステージの技術的利点 1. 多機能サンプルステージの統合と自動化：モジュール設計により手動操作の複雑さを軽減し、真空環境での全体的な動きと正確な位置決めをサポートします。 2. 多機能サンプルステージの高い信頼性：標準フランジインターフェース（CF50/CF40など）を使用して密閉性と互換性を確保します。 3. 多機能サンプルテーブルのカスタマイズ：加熱材質、ストローク長さ、サンプルホルダータイプ（3爪バヨネットタイプ、ボトムフォークタイプなど）をニーズに応じて選択できます。 多機能試料ステージは、材料研究やミクロ分析における重要な機器であり、X線回折装置で広く使用されています。その価値は、機能統合、操作の柔軟性、そして複雑な実験要件への適応性にあります。具体的な選択は、実際のアプリケーションシナリオ（薄膜技術、電子顕微鏡分析、故障解析など）に応じて、対応するモジュールと性能パラメータを適切に組み合わせる必要があります。