1台のマシンが複数のシナリオに適応し、実験効率が2倍になります

多機能サンプルステージは、主に材料科学、半導体製造、電子顕微鏡分析などの分野で使用される高度に統合された実験装置です。その主な特徴は、モジュール設計、多機能統合、高精度制御です。 一、多機能試料ステージのコア機能と構造特性 1. 多機能サンプルステージのモジュール設計： 自己回転カップリングモジュール（速度 0 ～ 20 回転 / 分、ゼロ制限付き）、リフティングモジュール（標準ストローク 50 んん / 100 んん、カスタマイズ可能）、ヒーターモジュール（最高温度 1100 ℃ まで）などのさまざまなモジュールの組み合わせにより、複数の機能が実現されます。 薄膜成長、サンプル洗浄、補助膜形成などのニーズを満たすために、DC/高周波 電源接続をサポートします。 2. 多機能サンプルステージのための高精度制御とセンサー： 温度、圧力などのセンサーを備え、サンプルの環境パラメータをリアルタイムで監視し、制御システムを通じて加熱、冷却などの操作を調整します。 一部のモデルには、操作を容易にするための空気圧バッフル モジュールが組み込まれています。 3. 多機能サンプルステージの互換性と適応性： 従来の切断や研磨による損傷を回避しながら、微量粉末、シート材料、大型サンプルなどの不規則なサンプルのテストに適します。 6 インチ未満のサンプル サイズとカスタマイズ可能なフランジ インターフェイスをサポートします。 二、多機能サンプルスタンドの応用分野 1. 多機能サンプルステージ用薄膜技術：MBE（分子線エピタキシー）、PLD（パルスレーザー蒸着）、マグネトロンスパッタリングなどの高度な薄膜成長技術、および基板アニール、高温脱ガスなどのプロセスに使用されます。 2. 多機能試料ステージの電子顕微鏡分析： 冷視野走査型電子顕微鏡: 長いネジでサンプルを固定し、互換性のある真鍮ワッシャーで導電率を調整します。 透過型電子顕微鏡/FIB システム: インサイチュー剥離、ナノプローブ テスト、透過型電子顕微鏡 分析を統合し、サンプルの転送による汚染や損傷を回避します。 3. 多機能サンプルステージの故障解析：FIB および 透過型電子顕微鏡 システムに原子サイト剥離、電気テスト、および解析プロセスを統合して、成功率と効率を向上します。 三、多機能サンプルステージの技術的利点 1. 多機能サンプルステージの統合と自動化：モジュール設計により手動操作の複雑さを軽減し、真空環境での全体的な動きと正確な位置決めをサポートします。 2. 多機能サンプルステージの高い信頼性：標準フランジインターフェース（CF50/CF40など）を使用して密閉性と互換性を確保します。 3. 多機能サンプルテーブルのカスタマイズ：加熱材質、ストローク長さ、サンプルホルダータイプ（3爪バヨネットタイプ、ボトムフォークタイプなど）をニーズに応じて選択できます。 多機能試料ステージは、材料研究やミクロ分析における重要な機器であり、X線回折装置で広く使用されています。その価値は、機能統合、操作の柔軟性、そして複雑な実験要件への適応性にあります。具体的な選択は、実際のアプリケーションシナリオ（薄膜技術、電子顕微鏡分析、故障解析など）に応じて、対応するモジュールと性能パラメータを適切に組み合わせる必要があります。

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